GB/T 14139-2009 硅外延片
标准名称: | 硅外延片 |
英文名称: | Silicon epitaxial wafers |
中标分类: | 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合 |
ICS分类: | 电气工程 >> 半导体材料 |
替代情况: | 替代GB/T 14139-1993 |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2009-10-30 |
实施日期: | 2010-06-01 |
首发日期: | 1993-02-06 |
作废日期: | |
主管部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
提出单位: | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
归口单位: | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
起草单位: | 宁波立立电子股份有限公司 |
起草人: | 许峰、刘培东、李慎重、谌攀 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2010-06-01 |
页数: | 12页 |
计划单号: | 20062372-T-469 |
本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。
本标准适用于在N 型硅抛光片衬底上生长的n型外延层(N/N+ )和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+ )的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。
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